Autor:Ing. Rudolf Drahokoupil Předmět/vzdělávací oblast:Stroje a zařízení Tematická oblast:Obrábění, obráběcí stroje a nástroje Téma:Obrábění iontovým paprskem Ročník:2. Datum vytvoření:prosinec 2013 Název:VY_32_INOVACE_ STR Anotace: Fyzikální technologie obrábění, obrábění iontovým paprskem, iontové leptání. Metodický pokyn: Učební materiál slouží jako inovativní prezentační doplněk pro výuku odborného tématu s využitím aktivizujících možností multimediálních prostředků (dataprojektor, popř. interaktivní tabule). Závěrečné kontrolní otázky zvyšují interaktivitu výuky a podporují samostatné myšlení žáků. Ve spojení s webovými stránkami školy může být prezentace využívána i k samostudiu a pro distanční formu vzdělávání..

Obrábění iontovým paprskem Je založeno na využití kinetické energie iontů. Použití Výroba integrovaných obvodů, polovodičů, výroba miniaturních součástí.

Podstata metody obrábění iontovým paprskem Je-li povrch obrobku bombardován ve vakuu svazkem iontů. Zdrojem iontů je obvykle argon. Dochází tak k uvolňování atomů z materiálu obrobku.

Podstata metody obrábění iontovým paprskem Intenzita úběru materiálu je úměrná hustotě proudu iontů, energii dopadajících iontů, poměru hmotnosti iontů a atomů materiálu obrobku a úhlu dopadu iontového paprsku vzhledem k povrchu obrobku.

Podstata metody obrábění iontovým paprskem Obrábění iontovým paprskem probíhá přes krycí masku, ve které je vytvořen tvar obráběné plochy, podobně jako u chemického obrábění.

Druhy obrábění iontovým paprskem Anizotropní leptání Podstatou je uvolnění atomů z povrchu obrobku a odsátí vakuačním čerpadlem.

Druhy obrábění iontovým paprskem Leptání reaktivním iontovým paprskem Pro každý obráběný materiál je nutné volit vhodné plyny, které zaručí úběr na materiálu obrobku.

Výhody obrábění iontovým paprskem Lze obrábět všechny materiály Proces obrábění je velmi přesný Obrobený povrch má vysokou kvalitu Stěny vyrobených drážek jsou kolmé

KONTROLNÍ OTÁZKY – diskuse  Pojem obrábění iontovým paprskem Je založeno na využití kinetické energie iontů. Výhody obrábění Lze obrábět všechny materiály, proces obrábění je velmi přesný, obrobený povrch má vysokou kvalitu.

Použité zdroje: ŘASA, Jaroslav, Přemysl POKORNÝ a Vladimír GABRIEL. Strojírenská technologie vyd. Praha: Scientia, 2001, 221 s. ISBN