Příprava tenkých vrstvev chalkogenidů a jejich selektivní leptání Prezentace k obhajobě bakalářské práce Jakub Dvořák
Zadání Teoretické studium možných příprav tenkých vrstev chalkogenidů Syntéza skla a příprava vrstev metodou vakuového napařování Studium selektivního leptání tenkých vrstev
Co je to tenká vrstva? Vzorek o tloušťce několika mikrometrů – obvykle ale i méně Její fyzikální vlastnosti se značně liší od objemového vzorku skla Základními požadavky na tenké vrstvy jsou dobrá adheze k podložce, rovnoměrnost tloušťky a absence děr
Příprava tenkých vrstev PVD Vakuové napařování Naprašování CVD Termická CVD Nanášení z roztoku Spin coating
Syntéza objemového vzorku skla As40S50Se10
Příprava tenkých vrstev Termické napařování
Leptání
Měření indexu lomu a tloušťky vrstev na spektrofotometru – JASCO -Swanepoelova metoda
Studium fotoindukovaných změn rychlosti leptání – selektivita leptu doba expozice [s] rychlost leptání [nm.s-1] dzbytková[nm] 4,6 20 12 50 5,4 163 180 6,6 314
Děkuji Vám za pozornost