Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Využití spektroskopické reflektometrie při studiu tribologických jevů.

Prezentace na téma: "Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Využití spektroskopické reflektometrie při studiu tribologických jevů."— Transkript prezentace:

1 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Využití spektroskopické reflektometrie při studiu tribologických jevů Podklady pro cvičení

2 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Široké využití v oblasti měření tloušťky a indexu lomu tenkých dielektrických (neabsorbujících) vrstev. Princip metody vychází ze studia a následného zpracování odražené intenzity od studované tenké vrstvy. Využití v trobologii: Měření tloušťky maziva (řádově od nanometrů až po mikrometry). Měření tlaku v kontaktní oblasti (změna indexu lomu maziva). Spektroskopická reflektometrie

3 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Podmínky měření  Kolmý dopad.  Stabilní osvětlení bez časových fluktuací.  Opticky neměnná sestava.  Referenční vzorek (monokrystal křemíku). Hlavní podmínky pro měření:

4 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Zdroj:  halogenová žárovka Optická sestava:  mikroskop NIKON Optiphot 150 s telecentrickým objektivem se zvětšením 10x. Vyhodnocování:  Monochromátor ORIEL s CMOS kamerou PhotonPhocus. Měřicí aparatura

5 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Matematický základ Intenzitu odraženého světla lze definovat pomocí Fresnellových koeficientů pro odrazivost. kterou lze vyjádřit také ve tvaru: kde R stud je intenzita odražená od studované vrstvy, R etal je intenzita odražená od etalonu a R etal_tab je absolutní odrazivost etalonu (tabelizovaná).

6 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Matematický základ

7 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Princip získání dat

8 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Příklad odrazivosti Ukázka závislosti odrazivosti na tloušťce mazacího filmu

9 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Ukázka závislosti odrazivosti na tloušťce mazacího filmu Příklad odrazivosti

10 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 Ukázka závislosti odrazivosti na tloušťce mazacího filmu Příklad odrazivosti

11 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 Ukázka závislosti odrazivosti na tloušťce mazacího filmu Příklad odrazivosti

12 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 Ukázka závislosti odrazivosti na tloušťce mazacího filmu Příklad odrazivosti

13 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 Ukázka závislosti odrazivosti na tloušťce mazacího filmu Příklad odrazivosti

14 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 Ukázka závislosti odrazivosti na tloušťce mazacího filmu Příklad odrazivosti

15 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 Ukázka závislosti odrazivosti na tloušťce mazacího filmu Příklad odrazivosti

16 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. 1)Definice materiálů 2)Definice vzorku – optické uspořádání 3)Data absolutní odrazivosti Vyhodnocování NKDStack – software pro vyhodnocování dat získaných pomocí elipsometrie nebo reflektometrie. 1. 2. 3.

17 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Vyhodnocování Definování počátečních podmínek: 1)Index lomu a absorpce použité ocelové koule – soubor obsahující data získaná pomocí elipsometrie pro oblast v rozmezí 450-650 nm. 2)Předpokládaný index lomu oleje – definice pomocí Cauchyho formule (2 hledané parametry). 3)Definice vzorku (optického designu) – definice optických rozhraní (posloupnost materiálů definovaných v předešlých krocích – ocel=substrát, olej=vrstva), definice předpokládané tloušťky maziva a definice indexu lomu okolí (index lomu safíru)

18 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Vyhodnocování Načtení dat absolutní odrazivosti pro jednu rychlost třecích povrchů.

19 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Vyhodnocování Optimalizace metodou nejmenších čtverců (Levenberg-Marquardt).

20 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 Příklad vyhodnocení Výsledky závislosti tloušťky olejového filmu L.S.-B.S. na rychlosti třecích povrchů při čistém valení získané spektroskopickou reflektometrií.

21 Tato prezentace byla vytvořena za podpory grantového projektu FRVŠ č. 1784/2009. Traktor budoucnosti Dopravní technika Děkuji za pozornost