Příprava tenkých vrstvev chalkogenidů a jejich selektivní leptání

Prezentace na téma: "Příprava tenkých vrstvev chalkogenidů a jejich selektivní leptání"— Transkript prezentace:

1 Příprava tenkých vrstvev chalkogenidů a jejich selektivní leptání
Prezentace k obhajobě bakalářské práce Jakub Dvořák

2 Zadání Teoretické studium možných příprav tenkých vrstev chalkogenidů
Syntéza skla a příprava vrstev metodou vakuového napařování Studium selektivního leptání tenkých vrstev

3 Co je to tenká vrstva? Vzorek o tloušťce několika mikrometrů – obvykle ale i méně Její fyzikální vlastnosti se značně liší od objemového vzorku skla Základními požadavky na tenké vrstvy jsou dobrá adheze k podložce, rovnoměrnost tloušťky a absence děr

4 Příprava tenkých vrstev
PVD Vakuové napařování Naprašování CVD Termická CVD Nanášení z roztoku Spin coating

5 Syntéza objemového vzorku skla As40S50Se10

6 Příprava tenkých vrstev
Termické napařování

7 Leptání

8 Měření indexu lomu a tloušťky vrstev na spektrofotometru – JASCO -Swanepoelova metoda

9 Studium fotoindukovaných změn rychlosti leptání – selektivita leptu
doba expozice [s] rychlost leptání [nm.s-1] dzbytková[nm] 4,6 20 12 50 5,4 163 180 6,6 314

10 Děkuji Vám za pozornost