Diagnostika plazmatu v parách dimethylfenylsilanu Bc.Michal Procházka Ústav fyzikální a spotřební chemie
Současný stav řešení problému Plazmová polymerace generování radikálů (fragmentů molekul) rekombinace fragmentů prostorové zesíťování Výhody: výborná adheze k substrátu, odolnost vůči většině chemikálií Aplikace: chemické senzory, ochranné a funkční vrstvy, separační membrány
Studovaný materiál Dimethylfenylsilan Sumární vzorec: C 8 H 12 Si Molekulová hmotnost: 136,27 g.mol -1 Hustota: 0,8890 g.cm -3 Teplota varu: 157 °C (744 Torr) Teplota vznícení: 35 °C
Metoda měření Optická emisní spektrometrie V parách vzorku se generuje indukčně vázané plazma, jehož emise se měří optickým emisním spektrometrem. Proměřuje se intenzita emitovaného záření v závislosti na vlnové délce: I = f(λ)
Naměřená data H CH
Naměřená data