Název Kontrola kvality pixelových detektorů pro ATLAS

, ZásadaMagdaléna Bazalová2 Úvod  Magdaléna Bazalová  Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská (4.ročník), ČVUT  Fyzikální ústav AV

, ZásadaMagdaléna Bazalová3 Témata 1)Popis křemíkového ATLAS waferu 2)Základní charakteristiky kvality polovodičových detektorů 3)Vlastnosti ozářených vzorků

, ZásadaMagdaléna Bazalová4 I. Popis křemíkového ATLAS waferu 1) Nákres 2) Popis jednotlivých struktur 3) Foto

, ZásadaMagdaléna Bazalová5 Mini chip Single chip Guardring Oxid test structure Tiles Pixels

, ZásadaMagdaléna Bazalová6 Pixely Wafer CIS Wafer TESLA

, ZásadaMagdaléna Bazalová7 Sesazovací znaky 0,5 μm

, ZásadaMagdaléna Bazalová8

, ZásadaMagdaléna Bazalová9 II. Základní charakteristiky polovodičových detektorů 1. Vizuální prohlídka  Viditelné poškození waferu  Kontrola sesazení 2. Elektrická měření  I-V charakteristika  C-V charakteristika  I-t charakteristika

, ZásadaMagdaléna Bazalová10 APARATURA

, ZásadaMagdaléna Bazalová11 Kontrola sesazení Nepřesnost sesazení: -1,5 μm

, ZásadaMagdaléna Bazalová12 Histogramy sesazení

, ZásadaMagdaléna Bazalová13 I-V na diodách s guardringem ATL-30-09

, ZásadaMagdaléna Bazalová14 I-V na diodách s guardringem

, ZásadaMagdaléna Bazalová15 Normování proudu na 20°C teplota T je ve ° C proud I v nA T N = K T 0 = K k = eV.K -1 E 1 = eV

, ZásadaMagdaléna Bazalová16 Teplotní závislost proudu

, ZásadaMagdaléna Bazalová17 C-V na diodách s guardringem ATL V dep ~ 80V

, ZásadaMagdaléna Bazalová18 I-t měření 15 hodin 10 dní

, ZásadaMagdaléna Bazalová19 III. Měření ozářených vzorků  Jsou ozařovány diody s guardringem, single chipy, rose diody a mini chipy  Např. ozařování protony s 24 GeV/c v květnu 2001 Prot /cm 2 * N eq /cm 2 * Po ozáření byly diody skladovány v mrazícím boxu a měřeny přibližně po 1,3,5 a 11 dnech po ozáření.

, ZásadaMagdaléna Bazalová20 Napětí vyprázdněné oblasti: C-V

, ZásadaMagdaléna Bazalová21 Závislost napětí vyprázdněné oblasti pions protons

, ZásadaMagdaléna Bazalová22 Závislost závěrného proudu Damage parameter a = I/Volume/Fluency a = 4 * A/cm N eq /cm 2 * V fd [V] I SC [µA] I MC [µA]

, ZásadaMagdaléna Bazalová23 I-V: ozářené Single chipy

, ZásadaMagdaléna Bazalová24 I-V: ozářené Mini Chipy

, ZásadaMagdaléna Bazalová25 Shrnutí 3-Tiles – nová dodávkaDobré Tiles – stará dodávka Značné zlepšení velikosti závěrného proudu

, ZásadaMagdaléna Bazalová26 Závěr TESLA je jedním ze dvou dodavatelů pixelových detektorů pro experiment ATLAS. Za 1 rok výroby se jejich kvalita velice zvýšila.