Optická litografie Hybatel digitální revoluce

Slides:



Advertisements
Podobné prezentace
ŠKOLA: Gymnázium, Tanvald, Školní 305, příspěvková organizace
Advertisements

COMPTONŮV JEV aneb O důkazu Einsteinovy teorie fotoelektrického jevu
Dalekohledy (Učebnice strana 121 – 123)
Světlo Autorem materiálu a všech jeho částí, není-li uvedeno jinak, je Petr Jeřábek. Materiál zpracován v rámci projektu Implementace ICT techniky do výuky.
Optika ČVUT FEL Sieger, 2012.
Nové modulové výukové a inovativní programy - zvýšení kvality ve vzdělávání Tento projekt je spolufinancován Evropským sociálním fondem a státním rozpočtem.
Fyzika atomového obalu
Fyzika mikrosvěta rozměry mikrosvěta, rasrtový elektronový (iontový) mikroskop Jan Andrle 3. B.
KCH/NANTM Přednáška 6 Struktura a vlastnosti nanomateriálů, self-assembly, metody přípravy.
28. Elektrický proud v polovodičích
Optické metody.
OPTICKÁ EMISNÍ SPEKTROSKOPIE
Budoucnost mikroelektroniky „ve hvězdách“ ….... spintronika jednou z možných cest.
Relace neurčitosti Jak pozorujeme makroskopické objekty?
Integrovaná střední škola, Hlaváčkovo nám. 673,
Paprsková optika Světlo jako elektromagnetické vlnění
Světlo Richard Brabec.
Digitální učební materiál
Digitální učební materiál
Úvod do používání digitálního fotoaparátu
Základní zákony geometrické optiky
Tento materiál byl vytvořen jako učební dokument projektu inovace výuky v rámci OP Vzdělávání pro konkurenceschopnost VY_32_INOVACE_B3 – 07.
SOUČÁSTKY ŘÍZENÉ SVĚTLEM 1
VNĚJŠÍ FOTOELEKTRICKÝ JEV
Technologické procesy ve strojírenství - úvod
2.4 Zdroje záření.
Optická mikroskopie Marek Vodrážka.
Jak pozorujeme mikroskopické objekty?
Autor:Ing. Rudolf Drahokoupil Předmět/vzdělávací oblast:Stroje a zařízení Tematická oblast:Obrábění, obráběcí stroje a nástroje Téma:Obrábění iontovým.
Relativistický pohyb tělesa
Detektory nabitých částic a jader
Kvantová fyzika: Vlny a částice Atomy Pevné látky Jaderná fyzika.
„DRAWING“ EXPERIMENTÁLNÍ METODA TVORBY OJEDNOCENÝCH NANOVLÁKEN Ing
Laserový telefon Otto Hartvich Michal Farník Dagmar Bendová.
Vybrané kapitoly z fyziky Radiologická fyzika Milan Předota Ústav fyziky a biofyziky Přírodovědecká fakulta JU Branišovská 31 (ÚMBR),
ZF2/5 Polovodičové optické prvky
Fotoelektrický jev Mgr. Kamil Kučera.
VÝUKOVÝ MATERIÁL ZPRACOVÁN V RÁMCI PROJEKTU EU PENÍZE ŠKOLÁM Registrační číslo projektu: CZ.1.07/1.4.00/ Šablona:III/2č. materiálu: VY_32_INOVACE_191.
Významný vynález Vypracoval:Lukáš Běhal.
INFORMATIKA Historie pc.
Číslo projektu: CZ.1.07/1.4.00/ Název DUM: Mikroskop
VI. Neutronová interferometrie cvičení KOTLÁŘSKÁ 11. DUBNA 2012 F4110 Kvantová fyzika atomárních soustav letní semestr
FOTOELEKTRICKÝ JEV.
SVĚT MOLEKUL A ATOMŮ. Fyzikální těleso reálný objekt konečných rozměrů látkové skupenství – pevné – kapalné – plynné – Plazmatické spojité a dále dělitelné.
ZÁZNAMOVÁ MÉDIA. Podle principu čtení se datové nosiče dělí na : Magnetická média, tzn. disketa, pevný disk, magnetická páska (audiokazeta, videokazeta,
Nové oděvní materiály Další možnosti vývoje materiálů.
Fyzika - optika Zákon odrazu u zrcadel a zákon lomu u čoček.
VLNOVÉ VLASTNOSTI ČÁSTIC. Foton foton = kvantum elmag. záření vlnové a zároveň částicové vlastnosti mimo představy klasické makroskopické fyziky Louis.
5.6 Řešení Schrödingerovy rovnice v jednoduchých případech … Částice v jednorozměrné nekonečně hluboké pravoúhlé potenciální jámě Částice v.
Mikroskop. poprvé sestaven v roce 1590 v Nizozemsku Zachariasem Jansenem.
Název školyZákladní škola a mateřská škola Libchavy Název a číslo projektu EU peníze pro ZŠ Libchavy CZ.1.07/1.4.00/ Číslo a název klíčové aktivityIII/2.
OPTICKÉ PŘÍSTROJE Lupa slouží k pozorování malých blízkých předmětů spojná čočka s ohniskovou vzdáleností do 25 cm zvětšuje 10x předmět.
ZŠ Brno, Řehořova 3 S počítačem snadno a rychle Informatika 7. ročník III
KVANTOVÁ MECHANIKA. Kvantová mechanika popisuje pohyb v mikrosvětě vlnový charakter a pravděpodobnost výskytu částice rozdílné rovnice a zákony od klasické.
POZNÁVÁNÍ MIKROSVĚTA. Okolní svět vnímáme smysly vysvětlujeme rozumem necháváme působit na sebe ovlivňujeme svou činností 1/8.
Elektronické učební materiály – II. stupeň Fyzika 9 Autor: Mgr. Zuzana Vimrová 1. Jakým způsobem lze získávat elektrickou energii?
délka 1,2 m Johann a Zacharias Jansenové (16. stol.) Systém dvou čoček Typy světelných mikroskopů.
Přednáška č 1: Úvod do nanofotoniky
Částicový charakter světla
Fotonické nanostruktury (alias nanofotonika)
Fotodioda Nina Lomtatidze
Optické přístroje VY_32_INOVACE_59_Optické přístroje
Záznamová media Vaníčková Zdeňka 1.L.
Elektronový obal atomu
Název školy: Gymnázium, Roudnice nad Labem, Havlíčkova 175, příspěvková organizace Název projektu: Moderní škola Registrační číslo projektu: CZ.1.07/1.5.00/
Radioaktivní záření, detekce a jeho vlastnosti
19. Atomová fyzika, jaderná fyzika
Číslo projektu CZ.1.07/1.5.00/ Číslo materiálu
Kvantová fyzika.
Číslo projektu Číslo materiálu název školy Autor TEmatický celek
Transkript prezentace:

Optická litografie Hybatel digitální revoluce

K čemu je optická litografie Mikročip OLED displej

Cíl optické litografie Vyrobit elektronický obvod tvořený logickými hradly (tranzistory) v co nejkratším čase a s co největší hustotou hradel Dnešní mikročip: 10^9 tranzistorů (absolutním limitem jsou velikosti atomů křemíku 0.2nm) https://www.youtube.com/watch?v=Fxv3JoS1uY8&list=RDvFoneKoesUo&index=2

Jak se mikročip vyrábí https://www.youtube.com/watch?v=aCOyq4YzBtY (Intel) https://www.youtube.com/watch?v=oBKhN4n-EGI (1:41) proces výroby velmi podobný klasické fotografii

Jak se mikročip vyrábí

Jak se mikročip vyrábí

Ceny litografických zařízení Stepper-50 000 000$ Semicon market 2016: 340 000 000 000$ 90%: USA, Čína, EU (Nizozemsko), Japonsko, Korea, Taiwan Kam se prodávají komponenty: USA, Čína, Japonsko, Taiwan, Korea, EU (Nizozemsko) Inspekce: KLA-3 000 000 000$, AMAT-

Semicon trh

Stroje pro litografii

Rozlišení litografie

Vlnová délka elektronu a fotonu V kvantové fyzice se každá částice chová jako vlna Pokud máme foton a elektron o stejné energii 2eV pak: Vlnová délka fotonu bude: 621nm Vlnová délka elektronu: 0.87nm

Elektronová lithografie Může dosahovat až <10nm rozlišení Je extrémně pomalá (malá osvícená oblast) a proto je vhodná jen pro výrobu masky (vzoru)

Optická litografie Použije se zmenšení masky- projekční optika Vlnové délky v DUV: 248nm, 193nm, 157nm Zvyšování NA…..

Problém designu litografického objektivu Musí mít vysokou NA jako mikroskopový objektiv, přitom zobrazovat velké předměty (22mm) spíše jako fotografický objektiv

Projekční objektiv

Porovnání objektivů Mikroskopový Fotografický Litografický

Problém designu Konstrukce složitých objektivů byla umožněna až z rozvojem výpočetní techniky Trasování paprsků a optimalizace

Závěr Litografie patří k nejdůležitějším aplikacím optiky vůbec Velká rychlost výrobního procesu optické litografie umožňuje produkovat obrovské množství mikročipů a tím zajistila digitální revoluci Optický design and celá stavba litografických strojů patří k tomu nejsložitějšímu co lze v optice realizovat