Stáhnout prezentaci
Prezentace se nahrává, počkejte prosím
1
Příprava ultratenkých vrstev oxidu cínu na různých orientovaných površích mědi
Řešitel: Dominika Jochcová Vedoucí: doc. RNDr. Karel Mašek, Dr. Konzultant: Mgr. Romana Pavlíková MOTIVACE: Epitaxní vrstvy oxidu cínu se dají vhodně použít jako modelový systém ke zkoumání jejich vlastností. Tyto struktury mají využití zejména v senzorech plynů. V rámci projektu jsme připravovali nanostrukturní ultratenké vrstvy oxidu cínu na monokrystalických površích mědi.
2
Průběh řešení projektu
Teoretické seznámení s metodami zkoumání struktury povrchů RHEED, XPS Praktické seznámení s UHV zařízením Úkoly - Experimentální část – asistovaná příprava cínoxidu na měděném monokrystalu Zpracování dat pomocí programů KolXPD, Adif, interpretace dat
3
RHEED Reflection High Energy Electron Diffraction
Energie primárních elektronů ~10-40 keV Výpočet mřížkového parametru
4
Naše vybavení Přípravná komora Iontové dělo Čerpací jednotka
Hlavní komora Vypařovadla RTG zdroj (Al K_ eV a Mg K_ eV). Elektronové dělo pro RHEED CCD kamera
5
Napařování cínoxidu čistý povrch, Cu[110] depozice, Cu[110] 300°C Ohřev 400°C, Cu[211] Cu[110] Ohřev 500°C, Cu[211] Cu[110]
![Napařování cínoxidu čistý povrch, Cu[110] 1. depozice, Cu[110] 300°C Ohřev 400°C, Cu[211]](http://slideplayer.cz/slide/12627649/76/images/5/Napa%C5%99ov%C3%A1n%C3%AD+c%C3%ADnoxidu+%C4%8Dist%C3%BD+povrch%2C+Cu%5B110%5D+1.+depozice%2C+Cu%5B110%5D+300%C2%B0C+Oh%C5%99ev+400%C2%B0C%2C+Cu%5B211%5D.jpg "Cu[110] Ohřev 500°C, Cu[211] Cu[110]")
6
Napařování cínoxidu Ohřev 600°C, Cu[110] Cu[211] čistý povrch, Cu[110]
2. depozice, Cu[211] 400°C Cu[110]
![Napařování cínoxidu Ohřev 600°C, Cu[110] Cu[211] čistý povrch, Cu[110]](http://slideplayer.cz/slide/12627649/76/images/6/Napa%C5%99ov%C3%A1n%C3%AD+c%C3%ADnoxidu+Oh%C5%99ev+600%C2%B0C%2C+Cu%5B110%5D+Cu%5B211%5D+%C4%8Dist%C3%BD+povrch%2C+Cu%5B110%5D.jpg "2. depozice, Cu[211] 400°C Cu[110]")
7
XPS Binding energy [eV] Cu SnOx 3d Cu čištění SnOx 3d
Cu ohřev 600°C SnOx 3d Cu ohřev 600°C SnOx 3d Intensity Cu SnOx 3d Cu SnOx 3d Cu ohřev 400°C SnOx 3d Cu SnOx 3d po AFM Binding energy [eV]
![XPS Binding energy [eV] Cu SnOx 3d Cu čištění SnOx 3d](http://slideplayer.cz/slide/12627649/76/images/7/XPS+Binding+energy+%5BeV%5D+Cu+SnOx+3d+Cu+%C4%8Di%C5%A1t%C4%9Bn%C3%AD+SnOx+3d.jpg "Cu ohřev 600°C SnOx 3d. Cu ohřev 600°C SnOx 3d. Intensity. Cu SnOx 3d. Cu SnOx 3d. Cu ohřev 400°C SnOx 3d. Cu SnOx 3d po AFM. Binding energy [eV]")
8
AFM, SEM
9
Experimentální část – příprava cínoxidu na měděném monokrystalu
Závěr Experimentální část – příprava cínoxidu na měděném monokrystalu Připravili jsme epitaxní vrstvu oxidu cínu metodou vakuového reaktivního napařování v proudu atomárního kyslíku . Zpracování a interpretace dat Data byla zpracována pomocí programů KolXPD, Adif a dalších. Zda byl připraven nebo bude předmětem dalšího výzkumu. Děkuji za pozornost
Podobné prezentace
