KEE/SOES 8. přednáška Technologie FV článků Ing. Milan Bělík, Ph.D.

Prezentace na téma: "KEE/SOES 8. přednáška Technologie FV článků Ing. Milan Bělík, Ph.D."— Transkript prezentace:

1 KEE/SOES 8. přednáška Technologie FV článků Ing. Milan Bělík, Ph.D.

2 Technologie FV článků Křemík MonokrystalPolykrystalAmorfní Tenké vrstvy Jiné polovodiče Organické sloučeniny

3 Křemíkové FV články Více než 90% produkce Historické důvody Polovodičové technologie (40. léta) Široký výzkum Vhodná šířka zakázaného pásma DostupnýNejedovatýStály

4

5 Výroba článku Si ingot (čistota 10 -6 ) Řezání na plátky - waffers Vyhlazení broušením a leptáním Infundace na P, N Pasivace povrchu (SiO 2 ) Vyleptání struktur Ochranná vrstva, antireflexní vrstva Nanesení kontaktů

6 Křemík 2. prvek v kůře (28%) Pískovce, jíly, žuly, křemen SiO 2 Teplota tání: 1410 - 1420 °C Teplota varu: 2900 - 3200 °C Hustota: 2,330 g.cm-3 Tvrdost: 6,5 Objev: 1824 (J. Berzeli)

7 Výroba průmyslového křemíku Tavení v obloukové peci Redukce uhlíkem na grafitové elektrodě Čistota 97 – 99%

8 Výroba čistého křemíku Zonální tavení Dlouhá tyč Postupné protažení tavicí pecí Postupný přesun nečistot ke konci tyče Odříznutí nečistot Chemické procesy –Siemensův postup Výroba trichlorsilanu HSiCl 3 Profoukávání plyné fáze vrstvou čistého křemíku (1100 °C) –Dupontův postup Výroba cloridu křemičitého SiCl 4 Rozklad na čistém Zn (950°C)

9 Výroba monokrystalu Czochralského proces Řízená krystalizace Vložení zárodečného čistého krystalu Rotace a pulzace krystalu Atmosféra Ar

10 Řezání Velké ztráty (50%) Plátky 300 mikronů (100 mikronů) Diamantové pily Řezání pásků monokrystalu laserem

11

12 Leštění povrchu Odstraní drsnosti po řezání Kyselé procesy Alkalické procesy – leptové čtverce - lesklé

13

14