Prezentace se nahrává, počkejte prosím

Prezentace se nahrává, počkejte prosím

Název Kontrola kvality pixelových detektorů pro ATLAS.

Podobné prezentace


Prezentace na téma: "Název Kontrola kvality pixelových detektorů pro ATLAS."— Transkript prezentace:

1 Název Kontrola kvality pixelových detektorů pro ATLAS

2 , ZásadaMagdaléna Bazalová2 Úvod  Magdaléna Bazalová  Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská (4.ročník), ČVUT  Fyzikální ústav AV

3 , ZásadaMagdaléna Bazalová3 Témata 1)Popis křemíkového ATLAS waferu 2)Základní charakteristiky kvality polovodičových detektorů 3)Vlastnosti ozářených vzorků

4 , ZásadaMagdaléna Bazalová4 I. Popis křemíkového ATLAS waferu 1) Nákres 2) Popis jednotlivých struktur 3) Foto

5 , ZásadaMagdaléna Bazalová5 Mini chip Single chip Guardring Oxid test structure Tiles Pixels

6 , ZásadaMagdaléna Bazalová6 Pixely Wafer CIS Wafer TESLA

7 , ZásadaMagdaléna Bazalová7 Sesazovací znaky 0,5 μm

8 , ZásadaMagdaléna Bazalová8

9 , ZásadaMagdaléna Bazalová9 II. Základní charakteristiky polovodičových detektorů 1. Vizuální prohlídka  Viditelné poškození waferu  Kontrola sesazení 2. Elektrická měření  I-V charakteristika  C-V charakteristika  I-t charakteristika

10 , ZásadaMagdaléna Bazalová10 APARATURA

11 , ZásadaMagdaléna Bazalová11 Kontrola sesazení Nepřesnost sesazení: -1,5 μm

12 , ZásadaMagdaléna Bazalová12 Histogramy sesazení

13 , ZásadaMagdaléna Bazalová13 I-V na diodách s guardringem ATL-30-09

14 , ZásadaMagdaléna Bazalová14 I-V na diodách s guardringem

15 , ZásadaMagdaléna Bazalová15 Normování proudu na 20°C teplota T je ve ° C proud I v nA T N = K T 0 = K k = eV.K -1 E 1 = eV

16 , ZásadaMagdaléna Bazalová16 Teplotní závislost proudu

17 , ZásadaMagdaléna Bazalová17 C-V na diodách s guardringem ATL V dep ~ 80V

18 , ZásadaMagdaléna Bazalová18 I-t měření 15 hodin 10 dní

19 , ZásadaMagdaléna Bazalová19 III. Měření ozářených vzorků  Jsou ozařovány diody s guardringem, single chipy, rose diody a mini chipy  Např. ozařování protony s 24 GeV/c v květnu 2001 Prot /cm 2 * N eq /cm 2 * Po ozáření byly diody skladovány v mrazícím boxu a měřeny přibližně po 1,3,5 a 11 dnech po ozáření.

20 , ZásadaMagdaléna Bazalová20 Napětí vyprázdněné oblasti: C-V

21 , ZásadaMagdaléna Bazalová21 Závislost napětí vyprázdněné oblasti pions protons

22 , ZásadaMagdaléna Bazalová22 Závislost závěrného proudu Damage parameter a = I/Volume/Fluency a = 4 * A/cm N eq /cm 2 * V fd [V] I SC [µA] I MC [µA]

23 , ZásadaMagdaléna Bazalová23 I-V: ozářené Single chipy

24 , ZásadaMagdaléna Bazalová24 I-V: ozářené Mini Chipy

25 , ZásadaMagdaléna Bazalová25 Shrnutí 3-Tiles – nová dodávkaDobré Tiles – stará dodávka Značné zlepšení velikosti závěrného proudu

26 , ZásadaMagdaléna Bazalová26 Závěr TESLA je jedním ze dvou dodavatelů pixelových detektorů pro experiment ATLAS. Za 1 rok výroby se jejich kvalita velice zvýšila.


Stáhnout ppt "Název Kontrola kvality pixelových detektorů pro ATLAS."

Podobné prezentace


Reklamy Google