Prezentace se nahrává, počkejte prosím

Prezentace se nahrává, počkejte prosím

Příprava tenkých vrstvev chalkogenidů a jejich selektivní leptání Prezentace k obhajobě bakalářské práceJakub Dvořák.

Podobné prezentace


Prezentace na téma: "Příprava tenkých vrstvev chalkogenidů a jejich selektivní leptání Prezentace k obhajobě bakalářské práceJakub Dvořák."— Transkript prezentace:

1 Příprava tenkých vrstvev chalkogenidů a jejich selektivní leptání Prezentace k obhajobě bakalářské práceJakub Dvořák

2 Zadání Teoretické studium možných příprav tenkých vrstev chalkogenidů Syntéza skla a příprava vrstev metodou vakuového napařování Studium selektivního leptání tenkých vrstev

3 Co je to tenká vrstva? Vzorek o tloušťce několika mikrometrů – obvykle ale i méně Její fyzikální vlastnosti se značně liší od objemového vzorku skla Základními požadavky na tenké vrstvy jsou dobrá adheze k podložce, rovnoměrnost tloušťky a absence děr

4 Příprava tenkých vrstev PVD –Vakuové napařování –Naprašování CVD –Termická CVD –Nanášení z roztoku Spin coating

5 Syntéza objemového vzorku skla As 40 S 50 Se 10

6 Příprava tenkých vrstev Termické napařování

7 Leptání

8 Měření indexu lomu a tloušťky vrstev na spektrofotometru – JASCO -Swanepoelova metoda

9 Studium fotoindukovaných změn rychlosti leptání – selektivita leptu doba expozice [s]rychlost leptání [nm.s -1 ]d zbytková [nm] 04,60 204, , ,6314

10 Děkuji Vám za pozornost


Stáhnout ppt "Příprava tenkých vrstvev chalkogenidů a jejich selektivní leptání Prezentace k obhajobě bakalářské práceJakub Dvořák."

Podobné prezentace


Reklamy Google